Применение
- Кремниевые пластины-носители для производства полупроводниковых чипов
- Контроль карманов глубиной 40-50 мкм
Решение
- Линейный сканерLC15Dx
- Контактный датчик TP200
- Программное обеспечениеCAMIO и FOCUS
- Координатно-измерительная машина модернизация
Преимущества
- Экономичность - модернизация имеющейся КИМ мультисенсорными возможностями для лазерного сканирования, сохранение существующих программ для контатных измерений и устаревшего программного обеспечения для работы контактного датчика.
- Мелкие элементы - контроль карманов пластин-носителей, слишком мелких для контактного датчика.
- Экономия времени - LC15Dx измеряет элементы за один проход сканирования, что позволяет сэкономить несколько часов при написании программ и контроле, по сравнению с использованием контактного датчика для одной и той же задачи.