ALTERA SL

Эталон субмикронной точности

КИМ серии ALTERA SL - это самая современная высокоточная система, предлагаемая компанией LK Metrology на сегодняшний день. В своем варианте системы высокой точности она относится к КИМ с наивысшей точностью, доступной сегодня на рынке, что бросает вызов лидерам рынка в данном секторе. 

Передовая технология многосенсорной готовности оптимизирует производительность КИМ и обеспечивает возможность расширения сферы применения за счет включения в нее новых материалов и компонентов по мере изменения потребностей заказчика.

Среди его примечательных особенностей можно отметить приподнятое плечо направляющей оси X, обеспечивающее сверхскоростную динамику, шкалу оси S размером 0,1 мкм, обеспечивающую непревзойденную точность, повышенную жесткость и стабильность метрологической рамы, а также оптимизированные характеристики сканирования, обеспечивающие первоклассную высокую точность и пропускную способность.

Доступны различные размеры, начиная с 8.7.6 до 25.20.15, которые могут быть сконфигурированы как в высокоточной версии, так и в очень высокоточной версии, специально предназначенной для наиболее точных деталей, которые будут измеряться заказчиками сегодня.

Точность от 0,7 мкм+L/600, повторяемость 0,5 мкм, скорость 318 мм/сек, ускорение 566 мм/сек2.

См. также: