Applicazione
- Cestelli per wafer di silicio per la produzione di chip semiconduttori
- Collaudo di cavità con profondità di 40-50µm
Soluzione
- Scanner laser a linea LC15Dx
- Tastatore a contatto TP200
- Software CAMIO e FOCUS
- Aggiornamento Macchina di misura a coordinate
Benefici
- Conveniente - aggiornamento della CMM alla scansione laser multisensore, dei programmi di tastatura attuale e dei software originali utilizzati ancora con il sistema di tastatura
- Caratteristiche di piccole dimensioni - collaudo di scanalature del cestello troppo poco profonde per permettere l'accesso al tastatore a contatto
- Risparmio di tempo - lo scanner LC15Dx misura le caratteristiche geometriche in una singola scansione, riducendo i tempi della programmazione e del collaudo, solitamente più lunghi nella misura con tastatore a contatto