Application
- Support de plaquettes de silicium pour la production de puces semi-conductrices
- Inspection de poches peu profondes de 40-50µm de profondeur
Solution
- Scanner à faisceau unique LC15Dx
- Palpeur contact TP200
- Logiciels CAMIO et FOCUS
- Mise à niveau d'une machine de mesure par coordonnées existante
Avantages
- Rentabilité - Modernisation d'une MMT existante vers un balayage laser multi-capteurs, programmes de palpage et logiciels existants toujours utilisables avec le palpeur
- Petite entités - inspection des poches trop peu profondes pour qu'un palpeur tactile puisse y accéder
- Gain de temps - Le LC15Dx mesure les caractéristiques en un seul balayage, ce qui permet de gagner des heures de programmation et de mesure par rapport à l'utilisation d'un palpeur tactile classique pour la même application