Anwendung
- Siliziumscheibenträger für die Halbleiterchip-Herstellung
- Inspektion von flachen Taschen 40-50µm tief
Lösung
- LC15Dx Linienscanner
- TP200 Taktiler Messtaster
- CAMIO und FOCUS Software
- Koordinatenmessgerät Aufrüstung
Vorteile
- Kostengünstig - Aufrüstung eines vorhandenen KMGs auf Multi-Sensor-Laserscanning, vorhandene Messtasterprogramme und ältere Software, die noch mit dem Messtaster verwendet werden können weiter eingesetzt werden.
- Kleine Merkmale - Inspektion von Trägertaschen, die für den Zugriff des Messtasters zu flach sind
- Zeitersparnis - Der LC15Dx misst Merkmale in einem einzigen Scanvorgang und spart so Stunden bei der Programmierung und Prüfung im Vergleich zur Verwendung eines Messtasters für dieselbe Anwendung